真空环境紧固件有什么要求？真空螺栓

真空环境紧固件有什么要求？真空螺栓

半导体设备、真空腔室里的螺栓有什么讲究？真空环境紧固件有什么要求？这篇文章讲清楚。

真空环境对紧固件的要求

真空环境对紧固件要求：一是"出气率低"——真空环境最怕"放气"：螺栓材料出气率要低：不能用普通碳钢/镀锌；二是"无磁性"——半导体/精密设备要求无磁：磁性材料干扰设备；三是"清洁"——真空件要求清洁：防污染真空腔；四是"耐温"——真空设备常伴高温/低温：材质耐温；五是"耐腐蚀"——真空腔清洗用化学剂：耐蚀材质。常用材质：奥氏体不锈钢、钛合金、铝合金。

真空螺栓怎么选

真空螺栓选择：一是"材质"——奥氏体不锈钢：钛合金：不用碳钢；二是"表面处理"——真空件一般不做镀层：不锈钢本色/电解抛光；三是"等级"——真空螺栓等级按载荷：一般非重载；四是"密封"——真空法兰螺栓配金属密封垫：螺栓预紧力保证密封；五是"清洁包装"——真空件清洁包装：装配戴洁净手套。

真空环境使用注意事项

真空环境注意：一是"无油"——真空腔螺栓不能涂普通油：用真空润滑脂或干膜润滑；二是"烘烤"——真空设备烘烤除气时螺栓耐温：不锈钢螺栓可烘烤；三是"磁性"——磁性工具/螺栓远离精密真空设备；四是"清洁"——装配前清洁：无尘室操作；五是"检查"——真空漏率检查：定期复紧。真空螺栓"不锈钢低出气、无磁无油、清洁装配"。

真空环境紧固件用奥氏体不锈钢低出气无磁，不做镀层清洁装配，防污染真空腔。

真空设备的装配细节

真空腔体装配螺栓时，操作人员要戴洁净手套，螺栓从洁净包装中取出直接安装，避免手汗和油污污染。螺纹上不能涂普通润滑油，普通油脂在高真空下会挥发污染腔体，必须用真空润滑脂或干膜润滑剂。装配后按照真空设备的要求做检漏，螺栓预紧力不足会导致密封面泄漏。

真空环境下的螺栓紧固要定期复查，设备经过多次烘烤和温度循环后，预紧力会发生变化。检查时用扭矩扳手按规定扭矩复紧，注意烘烤温度要在螺栓材质允许的范围内。拆卸下来的螺栓要重新清洁处理才能再次使用，表面有损伤或变色的一律更换。

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